不同于薄膜沉積監測儀, 薄膜沉積控制儀利用閉環回路可進行鍍膜過程中的沉積速率及膜厚的控制.MDC-360, MDC-361 和 MDC-370是Maxtek三 種型號的薄膜沉積控制儀. MDC-360 是基本型,前面輸入,操作簡單, 功能全.? MDC-361是 簡化黑箱型,無輸入鍵盤, 需通過計算機接口控制. MDC-370為擴展型,可接 控制六個沉積源.
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http://www.leyfond.com/hzhb/Maxtek/Deposition-Controller.htm