掃描式俄歇微型探針）測量。使用AFM工具的選項，pA-STM也可以用來進行AFM測試。pA-STM的掃描鏡臺
掃描鏡臺具有壓電管
掃描技術資料：
X-Y壓電管：
高電壓模式的掃描范圍：10*10微米；
低電壓模式下的掃描范圍：650*650納米；
高電壓模式的分辨率：1.5埃米；
低電壓模式下的分辨率：0.1埃米；
Z壓電管：
高電壓模式掃描范圍：1.2微米；
高電壓模式的分辨率：0.2埃米；
轉換鏡臺數據：
X-Y范圍：5*5毫米；
Z范圍：13毫米（4毫米伺服輔助）
STM 頭部
STM頭部具有末端保持器
該頭部具有低電流的前置放大器，可以實現的1億倍V/A增益，這使得獲得2p
A 到2nA 的圖像成為可能，根據需要還可以選擇其他的不同增益的前置放大器。
SPM控制單元
SPM控制單元和計算機（配別有多輸入輸出主板）驅動掃描器，數據采集和采樣運動
采樣距離的末端由超低噪聲的模擬反饋控制，該模擬反饋由計算機數字化驅動。
掃描發生器由軟件控制，XYZ軸由符合的DAC驅動，該DAC的分辨率多于20位。
HVA3-T單元
高電壓放大器
HVA是一個電壓放大模塊用來驅動A-100頭部
計算機和數據采集板
WindowsXP、Vista 操作系統；奔騰處理器或酷睿2，1G/2GDDR2 SDRAM內存，160G硬盤，DVD光驅，鍵盤和鼠標，19寸液晶顯示器，采集板和接口。
采集軟件
軟件運行是基于窗口的，為了儀器控制和數據采集，還支持多窗口操作。軟件具有簡易的濾波器可以實時分析并獲取圖像。軟件控制了儀器的所有參數。
輔助
AFM工具
AFM Head（頭部） 適用于接觸模式，非接觸模式，半接觸模式和側力模式
AFM Head 具有工業級的懸臂支架保持器，該保持器可以移動（很容易在懸臂上安裝和拆卸），也很容易固定在懸臂上。Head頭部還具有裝備了激光和光電二極管傳感器的前置放大器。
隔音箱
桌臺