產特點:● 納米深度3D檢測● 高速、無接觸量● 表面形狀、粗糙度分析● 非透明、透明材質皆適用● 非電子束、非雷射的安全量測● 低維護成本
的3D圖形處理與分析軟體(Post Topo):● 提供3D圖形處理與分析● 提供自動表面平整化處理功能● 提供高階標準片的軟件自校功能● 深度、高度分析功能提供線性分析與區域分析等兩種方式● 線性分析方式提供直接追溯ISO定義的表面粗糙度(Roughness)與起伏度● (waviness)的測量分析。可提供多達17種的ISO量測參數與4種額外量測數據(Wafer)● 區域分析方式提供圖形分析與統計分析● 具有平滑化、銳化與數字過濾波等多種二維快速利葉轉換(FFT)處理功能● 量測分析結果以BMP等多種圖形檔案格式輸出或是Excel文本文件格式輸出
高速精密的干涉解析軟件(ImgScan):● 系統硬件搭配ImgScan處理軟件自動解析白光干涉條紋● 垂直高度可達0.1nm● 高速的分析算法則,讓你不在苦候測量結果● 垂直掃描范圍的設定輕松又容易● 有10X、20X、50X倍率的物鏡可供選擇● 平臺X、Y、Z位置數字式顯示,使檢測目標尋找快速又便利● 具有手動/自動光強度調整功能以取得佳的干涉條紋對比● 具有高精度的PVSI與高速VSI掃描測量模式供選擇● 具有的解析算法則可處理半透明物體的3D形貌● 具有自動補點功能● 可自行設定掃描方向技術規格參數:
型號 | AE-100M | ||
移動臺(mm) | 平臺尺寸100*100 ,行程13*13 | ||
物鏡放大倍率 | 10X | 20X | 50X |
觀察與量測范圍(mm) | 0.43*0.32 | 0.21*0.16 | 0.088*0.066 |
光學分辨力(μm) | 0.92 | 0.69 | 0.5 |
收光角度(Degrees) | 17 | 23 | 33 |
工作距離 | 7.4 | 4.7 | 3.4 |
傳感器分辨率 | 640*480像素 | ||
機臺重量(kg)/載重kg | 20kg/小于1kg | ||
Z軸移動范圍 | 45mm , 手動細調 | ||
Z軸位置數字顯示器 | 分辨力1μm | ||
傾斜調整平臺 | 雙軸/手動調整 | ||
高度測量 | |||
測量范圍 | 100(μm)(400μm ,選配) | ||
量測分辨力 | 0.1nm | ||
重復精度 | ≤ 0.1% (量測高度:>10μm) | ||
≤10nm(量測高度1μm 10μm) | |||
≤ 5nm(量測高度:<1μm ) | |||
量測控制 | 自動 | ||
掃描速度(μm/s) | 12(高) | ||
光源 | |||
光源類型 | 儀器用鹵素(冷)光源 | ||
平均使用壽 | 1000小時100W 500小時(150W) | ||
光強度調整 | 自動/手動 | ||
數據處理與顯示用計算機 | |||
中央處理運算屏幕 | 雙核心以上CPU | ||
影像與數據顯示屏幕 | 17 " 雙晶屏幕 | ||
操作系統 | Windows XP(2) | ||
電源與環境要求 | AC100 --240 V 50-60Hz | ||
環境振動 | VC-C等以上 | ||
測量分析軟件 | |||
量測軟件ImgScan | ImgScan測量軟件:具VSI/ PVSI/PSI 測量模式(PSI量測模式需另選配PSI模塊搭配) | ||
分析軟件PosTopo | ISO 粗燥度/階高分析,快速傳利葉轉換和濾波,多樣的2D和3D 觀測視角圖,外形/面積/體積分析,圖像縮放、標準影像文件格式轉換 報表輸出,程序教導測量等。 |
Talysurf CCI 6000白光干涉儀 隨著科技潮流,非接觸式的量測至今已被廣泛的應用在生產及研發上,而Taylor Hobson經多年的研發于2003年初推出的Talysurf CCI 6000白光干涉儀可堪稱目前世界上精度最高功能最強的白光干涉儀,,其超高解析度的特性(0.1Å),可以運用在量測晶圓 ,微機電及拋光元件等產品的粗糙度 平面度 及膜厚分析等,而非破壞性的特性更可以有效的量測軟性物質,在邁入奈米紀元同時相信Talysurf CCI 6000絕對是各大企業不可少的量測系統。 Talysurf CCI 6000白光干涉儀: &解析度(Z軸) 0.01nm (0.1Å) &測量范圍(Z軸) 100um &測量范圍(X x Y) 0.36mm x 0.36mm ~ 7.2mm x 7.2mm(依物鏡倍率不同可自由選擇) &1024 x 1024 高解析量測點數 &受測物的反射率 0.3% - 100% (透明物亦可量測) 硬件及軟件 &氣浮式防震系統已隔絕樓板震動‧隔離罩以隔離外在環境避免影響量測精度 &相容于Windows 2000及 Windows XP 系統 CCI干涉儀 Mirau 干涉 白光干涉儀3D分析軟件 &Talymap 3D & 2D 分析軟體。 &可分析項目: 粗度 平面度 波紋 膜厚 體積計算 承壓比值 等等。 &微機電尺寸計算(距離 高度 等計算)‧表面頻譜分析(FFT) MEMS Sensor Optics Diamond Turned& Wafer Step Talysurf CCI 6000白光干涉儀應用: &MEMS 微小尺寸計算 &Silicon Wafer 表面粗度 平面度 &非球面鏡表面粗糙度 &硬碟 光碟表面組織形狀 &OLED PDP LCD 膜厚分析計算
PG15激光平面干涉儀 1、工作基于雙光束等厚干涉原理。 2、根據近代光學的研究結果,http://www.tjhuayue.cn 裝生產線 BOSCH電磁閥 粉末包裝機 調味品包裝機 光兼有波動與微粒兩重特性。光的干涉現象是光的波動性的特性。 JDS立式接觸式干涉儀 是一種采用量塊或標準零件借以高精度的比較方式的立式精密長度計量儀器。主要用于150mm以下塊規,亦可用作高精密度的長度和外徑的精密測量,是各級計量室的基本長度計量儀器之一。 技術參數: 1、被測件最大長度:150mm 2、工作臺行程:5mm 3、測桿移動范圍:0.5mm 4、分劃板刻度范圍:±50格 5、直接測量范圍:5-20μm http://www.heima88.com.cn 數字電橋 數字示波器 直流電子負載 函數信號發生器 含氣飲料生產線 6、分度值調整范圍:0.05-0.2μm 7、推薦使用分度值:0.1μm 8、測量壓力:(1.5±0.1)N 9、儀器示值穩定性:0.02μm http://www.meifukeji.com 粒包裝機 茶葉包裝機 粉劑包裝機 液體包裝機 粉末包裝機 10、儀器誤差:±(0.03+1.5ni△λ/λ)um n是格數,i是格值,λ是濾光片中心波長,△λ是濾光片波長誤差 11、儀器體積:280×500×700mm 12、儀器重量:40kg高壓滅菌器 全自動給袋式包裝機 機床防護罩價格 鉗工平臺 三坐標測量平臺 大理石平臺 PE膜收縮機 精密增力電動攪拌器 電鏡兩用電極 栓劑模具 賀德克濾芯 滾齒機 BlueM YPC電磁閥 煤炭檢測設備 裝載機電子秤
一、產品說明
采用量塊或標準零件,以高精度比較方式的立式精密長度計量儀器。主要用于150 mm以下塊規,亦可用作高精密度的長度和外徑的精密測量,是各級計量室的基本長度計量儀器之一。
二.技術參數
1.被測件最大長度: 150 mm2.工作臺行程: 5 mm
3.測桿移動范圍:0.5mm
4.分劃板刻度范圍:±50格5.直接測量范圍:5-20μm6.分度值調整范圍: 0.05 - 0.2μm7.推薦使用分度值: 0.1μm8.測量壓力: (1.5 ± 0.1) N9.儀器示值穩定性: 0.02μm10.儀器誤差: ±(0.03 + 3n i λ) μm ( n-格數, i- 格值, λ-濾光片波長誤差)11.儀器體積:28*50*70cm12.儀器重量:40KG
13.標準配件: 五筋園臺;九筋瑪瑙臺;可調園平臺;輔助臺; 平面測帽 Ф2;小球面測帽;干涉濾光片
產品介紹
| ![]() ![]() ![]() ![]() MCV-500H 激光多普勒干涉儀 測量功能、主要技術指標和儀器成套性 1.主要測量功能:直線位移測量 1) 測量數控軸系直線運動的定位精度和重復定位精度。簡稱數控 機床定位精度、重復定位精度、反向間隙的測量。又稱:線性 測量,直線測量等。 2)測量數控機床的體對角線精度。
注:在 MCV-500H 標準配置基礎上用戶還需選購 LD-37S 萬能 折光鏡和 LD-58 對角線測量靶標座以后才具有數控機床 的體對角線精度測量功能。 3)測量機械平臺、坐標測量機的單軸精度和空間精度。 注:在 MCV-500H 標準配置基礎上用戶還需選購 LD-37S 萬能 折光鏡和 LD-58 對角線測量靶標座以后才具有坐標測量 機的空間精度測量功能。 4)作為精密平臺的長度基準器。 2.MCV-500H 主要技術指標
序技術指標名稱標準配置特殊訂貨 1激光頻率穩定性0.02ppm 2位移測量分辨率0.001μ m 3位移測量精度0.2ppm(0.2 μm/m) ※ MCV-500H 激光多普勒干涉儀測量功能、主要技術指標和成套性 科望技術咨詢(上海)有限公司T E L : 第 1 頁 共 6 頁2015-5-4 4位移測量距離80m 5最大移動速度5.0m/秒 6工作環境溫度5 ~38℃ 7工作環境海拔高度0~3000m 8工作環境相對濕度0~95% 9空氣溫度傳感器精度±0.1℃ 10材料溫度傳感器精度±0.1℃ 11空氣壓力傳感器精度±1.1mmHg 13電源電壓90~265VAC 14電源頻率50~60 赫 ※ 此精度是在標準大氣環境中不使用材料溫度傳感器自動溫度修正(ATC) 實現的,使用 ATC時 精度受限于材料溫度傳感器的準確性。
3.MCV-500 儀器(標準配置)成套性明細表
序代號名稱數量備注 1L-109H單光束激光頭1 2P-108D信號處理器1
3IATCP 自動溫度氣壓補償傳感器 1空氣溫度傳感器、空氣 壓力傳感器、材料溫度 傳感器各一只,空氣壓 力傳感安裝在 P-108D 處理器的主板上。 4LD-21L電纜組、接頭。1 長度為 12 英尺(3.5m) 5R-102A0.5 英寸平行反射鏡1 6LD-3790 度折光鏡1 7LD-03磁坐1 8LD-03P磁坐加立柱1 9LD-14A裝置板1 10內六角板手1 套6 支 11220V 電源線1 12USB 連接線1 13W-500測長軟件1 14LD-500使用手冊1 15LD-20D包裝箱1
4.MCV-500H 測量軟件對直線位移測量數據可按以下標準進行分析
序標準標準號 1中國國家標準GB/T 17421.2-2000 2國際標準ISO 230-2:1997 3國際標準ISO 230-2:1988 4德國工程協會VDI-3441 5日本標準Japanese Standard 6美國國家機床制造協會NMTBA 7美國國家機床制造協會具零飄移的 NMTBA 8美國機械工程師協會ASME B5.54 9美國機械工程師協會ASME B5.57
5.MCV-500H分析軟件可自動生成螺距誤差補償軟件的控制器品牌和 型號(該部份軟件為選購附件): 6.可供 MCV-500H 選購的各種測量功能附件
序選購件代號測量功能備注
1.W-500LB1.動態測量。 2.直線運動時位移、速度、加速度測 量。W-500LB 為 圓形軌跡測 量軟件。 2LB-5001.動態測量。 2.直線運動時位移、速度、加速度測 量。 3.機床在做二軸插補運動時位移、速 度、加速度的測量。 4.圓形運動軌跡測量。 5.圓形運動軌跡分析。 LB-500 為圓 形軌跡測量 組件。 2SP-5001.動態測量。 2.直線運動時位移、速度、加速度測 量。 3.機床在做二軸插補運動時位移、速 度、加速度的測量。 4.圓形運動軌跡測量。 5.主軸精度(徑向跳動、端面跳動)測 量。
SP-500 為主 軸精度(徑向 跳動、端面 跳動)測量組 件。
3SD-5001.對角線精度測量。 2.分軸步進對角線測量和分析。 3.生成相應控制器的空間精度補償程 序(該部份軟件為選購件)。SD-500 為空 間精度(分軸 步進對角線) 測量組件。
4SQ-5001.直線軸的直線度(水平直線度、上下 直線度)測量。 2.二軸垂直度測量。 3.二軸平行度測量。SQ-500 為垂 直度、 直線 度測量組 件。 5AM-500導軌(直線軸)運動中的角偏(俯仰角、偏 擺角)測量。AM-500 為 角偏測量組 件。
詳細技術報價方案請致電業務人員: 潘宏剛 13601906309
上海道勤檢測儀器有限公司是全球領先的測量解決方案提供商,公司多年來已為全球20多個國家和地區的客戶提供測量技術與產品解決方案。道勤公司擁有計量檢測業界最完整的測量解決方案,通過全系列計量檢測產品和專業技術服務,靈活滿足不同客戶的差異化需求以及快速檢測及創新的追求。 道勤公司堅持以持續技術創新為客戶不斷創造價值,所銷售產品在德國、美國、法國、瑞士、英國、挪威、中國等地設有全球研發機構,產品榮獲諸多國際專利,憑借不斷增強的創新能力、突出的靈活定制能力、日趨完善的技術能力贏得全球客戶的信任與合作。 道勤公司始終貫徹可持續發展理念,運用高、精、尖的測量技術幫助不同地區的客戶提供完善的計量應用方案。 公司的核心價值觀:為客戶服務是道勤公司存在的唯一理由!客戶需求是道勤公司發展的原動力!我們堅持以客戶為中心,快速響應客戶需求,持續為客戶創造長期價值。為客戶提供有效服務是我們工作的方向和價值評價的標尺,幫助客戶提升產品在市場上的強有力競爭。我們的價值主張,為適應現代工業的革命性變化,道勤公司圍繞客戶需求和技術領先持續創新,與業界伙伴開放合作,為用戶提供最先進的計量檢測產品,我們力爭成為客戶計量檢測領域的最佳合作伙伴,成為用戶最信賴的供應商。道勤公司所銷售的產品在全球20多個國家設有生產及研發機構,強大的研發團隊使我們時刻保持成為計量檢測領域的風向標,努力為世界制造業用戶提供最佳解決方案! 主要銷售的產品有:三坐標,光譜儀,投影儀,偏擺儀,硬度計,氣動量儀,色譜儀,測長儀,影像測量儀,齒輪測量儀,測高儀,粗糙度儀,輪廓儀,萬能材料試驗機,測量顯微鏡,萬能工具顯微鏡,高低溫試驗箱,鹽霧試驗箱,探傷儀,三維掃描儀,激光干涉儀,光筆測量儀,圓度儀,圓柱度儀,涂層測厚儀,超聲波測量儀,工業內窺鏡,工業CT等。以及各類檢測儀器的升級改造,維修保養服務。 |