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M3100氣體質量流量控制器M3100

1. 用途及特點

氣體質量流量控制器( Mass Flow Controller 簡稱MFC )能夠在較大的量程

范圍內對氣體的質量流量進行精密測量和控制。

氣體質量流量計( Mass Flow Meter 簡稱MFM )能夠在較大的量程范圍內

對氣體的質量流量進行精密測量。

它們在石化工業、半導體和集成電路工業、特種材料學科、醫藥、環保和

真空等多種領域的科研和生產中有著重要的應用。其典型的場合包括：電子工藝

設備，如、氧化、CVD、擴散、外延、等離子刻蝕、離子注入、濺射、；以及微反應裝置、混氣配氣系統、鍍膜設備、光纖熔練、氣相色譜儀及其它分析儀器。

Line-Tech Ltd.于對產品的性能和生產工藝的不斷改進。對M 系列氣

體質量流量控制器（MFC）和氣體質量流量計（MFM）進行了的技術改造，

在功能和性能上有了進一步的提高。

M 系列氣體質量流量控制器和質量流量計具有精度高、響應速度快、重

復性好、穩定性佳、軟啟動、工作壓力范圍寬等特點(可以在高壓或真空條件下

工作)，其操作使用方便，可任意位置安裝調試，并更好的與計算機連接實現自

動控制。

M3100V 和M3100A 型氣體質量流量控制器（MFC）性能指標

1000sccm 等於 1 liter 30slpm = 30 liters（公升）

sccm : s = standard cc = cm 的3 次方 m = minute（分鐘）

slpm : s = standard l = liter p = per m = minute（分鐘）

項目 M31000V 和M3100A

1 流量規格（N2）: 25slpm ～ 120slpm

（本公司可以為客戶在25slpm ～ 120slpm范圍內任何區域標定）

2 度 :±1% F.S （Full Scale）

3 重復精度 :±0.25 % F.S （Full Scale）

4 響應時間 :≤3sec ( 特別要求：:≤1sec )

5 耐壓 : 95 bar

6 工作環境溫度 :5 ℃ ~ 65 ℃

7 輸入輸出信號: 0 ~ 5Vdc 4 ~ 20mA

8 電源 :±15Vdc, 350mA

氣路接頭形式

可提供5 種尺寸接管外徑的接頭類型：

a.. 1/8＂ Compress

b. 1/4＂ Compress

c. 3/8＂ Compress

d. 1/4＂ VCR

e. 1/4＂ VCO

13917099687 范先生

型號日本山武（YAMATAKE）日本山武數字氣體質量流量控制器CMQ 數量大量庫存產品描述 CMQ9200/9500/0002/0005/0020/0050/0050JK/0200JK/0500JK等CMQ系列是高性能型數字式氣體質量流量控制器，使用山武公司獨有的感熱式微流量傳感器和高精度的比例閥，具有響應快、精度高、控制范圍寬等特點，能滿足多種工業控制要求。基本系列 CMQ9200 CMQ9500 CMQ0002 CMQ0005 CMQ0020 CMQ0050 CMQ0050J/K CMQ0200J/K CMQ0500J/K流量范圍 200mL/min 0.500L/min 2.00L/min 5.00L/min 20.0L/min 50.0L/min 50.0L/min 200L/min 500L/min適用氣體氮氣、空氣、氧氣、氬氣、二氧化碳、城市煤氣13A（LNG）、甲烷100%、丙烷100%、丁烷100% 控制范圍 1--100%FS 響應速度 0.5秒達到設定值±2%FS 1秒達到設定值±2%FS 閥門輸出更新周期 10ms 精度 ±1%FS ±2%FS ±1%FS ±2%FS ±1%FS ±1%FS ±1%FS ±1%FS ±1%FS標準差壓 98KPa 9.8KPa 98KPa 9.8KPa 98KPa 196KPa 19.6KPa 196KPa 196KPa操作差壓范圍 0.98--294KPa 0.49--49KPa 0.98--294KPa 0.49--49KPa 0.98--294KPa 0.98--294KPa 0.98--98KPa 0.98--294KPa 0.98--294KPa耐壓 980KPa 設定方法 1、鍵盤操作 2、外部設定電壓輸入 3、通訊設定輸入電壓范圍 0--5VDC / 1--5VDC （通過組態設定和外部開關輸入選擇）輸出電壓范圍 0--5VDC / 1--5VDC （通過組態設定和外部開關輸入選擇）輸出點數報警輸出：1點；事件輸出：2點外部開關輸入外部3位開關輸入（OPEN/GND/5V）：1點；外部節電輸入（2位開關）：3點安裝方式水平安裝，顯示部不可向下電源 DC15--24V 消耗電流：300mA max DC24V / 400mA max DC24V/500mA重量約1.2Kg 約3.5Kg

D500/D600氣體質量流量控制器MFC

上海洪柯自動化儀表公司推出的D500/D600氣體質量流量控制器（Mass Flow Controller）/氣體質量流量計(Mass Flow Metre)用于對氣體的質量流量進行精密測量和控制。廣泛應用于半導體、真空、太陽能、分析儀器、光電、制氣、醫療、電力、化工等各個領域。產品具有精度高、重復性好、穩定性高、性價比高、工作壓力范圍寬、使用壽命長等特點。

流量規格（N2）：	(0~5、10、20、30、50、100、200、300、500)SCCM；(0~1、2、3、5、10、20、30、50、100)SLM
準確度：	±1%F.S.
線性：	±0.5%F.S.
重復精度：	±0.2%F.S.
響應時間：	≤1Sec
工作壓差范圍：	(0.05~0.3)MPa
最大耐壓：	10MPa
工作環境溫度：	5~65℃
電氣連接：	8 Pin（Mini S Plug）
輸入/輸出信號	Digital：RS232/RS485； Analog:(0~5) VDC or (4 ~20)mA
電源：	7~16VDC 1A；或24VDC500mA
標準接頭：	Swagelokφ3,φ6,φ10…；Swagelok 1/8″,1/4″…； VCRφ3,φ6…；VCR 1/8″,1/4″…
外形尺寸	13028121mm
重量約	1.0kg

該公司產品分類：智能橢圓齒輪流量計楔形流量計科氏力質量流量計智能電磁流量計液壓油專用渦輪流量計智能渦輪流量計液體超聲波流量計特殊玻璃轉子流量計金屬管浮子流量計一體化孔板流量計智能渦街流量計智能旋進漩渦流量計便攜式氣體容積式流量計電子皂膜流量計便攜式氣體質量流量計低壓氣體質量流量計氣體質量流量計/控制器熱式氣體質量流量計 oval橢圓齒輪流量計氣體超聲波流量計

ALICAT氣體質量流量控制器ALICAT氣體質量流量控制器

氣體質量流量控制器

產品特點：1. 滿量程從0.5(s)ccm到1500(s)lpm2. 響應時間10ms3. 量程比優于100：14. 精度±0.8％讀數±0.2％fs（可選±0.4％讀讀數±0.2％fs）5. lcd大屏幕，動態數字同時顯示質量流量、量、體積流量、溫度和絕壓6. rs-232或模擬信號輸出7. 安裝位置不敏感8. 現場可選30種校驗氣體

差壓原理與熱式原理對照表

alicat差壓原理和熱式原理的對照表

指標	alicat層流差壓式原理	典型熱式原理
傳感器	固態硅基差壓傳感器	rtd或熱電偶
流量范圍	滿量程從0.5sccm到1500slpm	滿量程從3sccm到1000slpm
響應時間	10毫秒(控制器100 毫秒)	0.3-3.0秒
顯示屏	標準，內置	可選項，外部裝配
預熱時間	＜1秒	8-30分鐘
累計流量	可選項，內置	可選項，外部裝配
過程數據	內置顯示屏顯示質量流量、體積流量、在線溫度和在線絕對壓力	質量流量
輸出選項	標準內置顯示屏，模擬信號（0-5vdc,0-10vdc,1-5vdc或4-20ma）和標準rs232接口；可采用第二路模擬輸出體積流量、溫度或絕對壓力	標準模擬輸出，可選顯示屏，可選數字輸出
數字輸出	標準輸出包括質量流量、體積流量、在線溫度、在線絕對壓力、測量氣體；可選累計流量；標準multi-dr-op rs232接口	可選質量流量數字輸出；無multi-dr-op選項
供應電源	7-30vdc,35ma的標準ac/dc轉換電源；可使用一個標準的9v電池包供電	特殊供應電源，正和負的穩定15vdc
過程連接	標準的npt或小巧的氣動配件，可選sae,bspp等接頭	特制swagelok?、vcr等
多種氣體測量性	可從內置菜單選擇30種標準氣體	單一氣體，需指定
固有線性	有	無
文件	內置顯示屏顯示型號數、連續號數、制造日期、校驗技術員和軟件版本、型號/連續號，簽條也同樣為標準的	產品的貼紙上

產品簡介：

alicat氣體質量流量計利用兩個已研究透徹的氣體物理屬性：壓力和粘性來測量流量。通過層狀流量單元的差壓測量來計算流量，這種測量方式具有固有的線性。采用差壓、絕壓和溫度傳感器來測量并補償氣體的壓力、溫度，測量標準狀態（如1個大氣壓@25℃）下氣體的體積流量。可測量4種參數：質量流量、體積流量、溫度和絕壓，可選累計流量，并且可以通過動態顯示屏同時顯示。可選電池使得該款產品方便攜帶，常用于測試和校準工具。另外提供用戶定制滿足您特殊需求。 alicat氣體體積流量計采用差壓傳感器來測量當前狀態下的體積流量。由于它沒有內置絕壓和溫度傳感器，價格會便宜一些，是相對于質量流量計的另一種選擇。本地顯示： alicat所有產品均提供本地顯示標準功能（無顯示產品可以用于oem）。質量流量控制器和體積流量控制器在主顯示上均提供了不同的過程參數信息，用戶通過按鍵可以選擇主顯示方式（main mode display）和所測的氣體(30種校驗氣體)，調節pid參數，將測量流量清零等。

數字輸出（rs-232）：所有的alicat產品均具有標準的rs-232輸出。其信號通過8針圓形接頭或6針工業連接頭傳輸。使用alicat的rs-232輸出或輸入通訊串口無需特別軟件。任何帶有終端程序的設備，例如windows®操作系統里的“超級終端”，均可以使用我們的alicat產品。rs-232可以實現本地顯示上的所有操作功能，例如：清零、更換校驗氣體、改變pid等。對于質量流量控制器，通過rs-232所顯示的過程參數同其本地顯示上數據是一致的。控制功能也與每個型號的本地顯示控制模式一致（如右圖所示）。體積流量控制器的控制功能 (loop)只定位在“體積流量(volume)”上。所有的產品均可以根據用戶的選擇配置為流動模式或輪循模式。模擬輸出：模擬信號通訊同樣是由rs-232接口的8針圓形接頭來提供。默認的模擬信號是0-5vdc，可選0-10vdc或4-20ma的輸出信號。alicat質量流量控制器提供0-5vdc輸出“質量流量”，同時提供一個模擬控制設定點的針腳。質量流量控制器通過“se-lect”（出現在本地控制設定模式中，如右上圖所示）來控制設定點方式。可選第二路單獨模擬輸出“壓力”、“溫度”或“體積流量”。alicat體積流量控制器提供0-5vdc輸出“體積流量”，同時提供一個模擬控制設定點的針腳。體積流量控制器通過“se-lect”（出現在本地控制設定模式中，參考右上圖）來控制設定點方式。應用領域: 醫藥、工業、過程控制、實驗室、oem、替換熱式質量流量計、泄漏測試選項附件：1. 電氣電纜 2. ac/dc 電源適配器 3. 特殊混合氣體 4. 遠程數字顯示（rdd） 5. 用戶化壓降設置 6. 電池包（使測試儀器便攜） 7. 多種獨立的輸出

該公司產品分類：壓力真空儀表

氣體質量流量控制器、杜瓦瓶、氣瓶柜、通風柜、實驗臺西安

陜西歐迅機電科技有限公司是集科研、生產、貿易為一體的高新技術企業專業從事大宗氣體管路輸送及相關產品銷售，業務包括管道工程咨詢、設計、產品選型及施工安裝為一體的交鑰匙服務。公司配備GF+切管機、全自動軌道式管管焊機、平口/坡口機、不銹鋼彎管機、去毛刺機等一大批高質量、高精密的進口管道施工設備，全自動軌道式管管焊機適用于焊接3mm-76mm外徑的不銹鋼薄壁管，管管自熔自動焊機采用全位置鎢極氬弧焊單面焊雙面成型的焊接方法，即管子固定，而焊炬（焊機）沿著管子均勻旋轉一周的焊接方法，極大的提高了焊接的安全可靠性。相關員工憑借10年來的行業積淀和定期的專業培訓，具有了豐富的實戰經驗，期待著為您提供專業、及時、優質的服務。我們可提供服務的行業包括高純分析測試實驗室、半導體、太陽能光伏、生物、制藥、食品、乳品、酒廠、煙草、航空航天、壓力容器、核電、造船等等。我公司提供高溫真空管式爐、高溫氣氛式爐、馬弗爐；掃描電鏡；磁控濺射鍍膜；超音速噴涂設備、等離子噴涂設備；真空擴散；納微涂層；3D打印設備；焊燃料電池；X射線能譜儀等大型儀器的集中供氣配氣系統，至目前已為各科研機構配套多個項目，經驗豐富。我司經銷的產品有：鋼瓶固定架、不銹鋼減壓器、黃銅減壓器、不銹鋼氣體匯流排、黃銅匯流排、不銹鋼自動切換面板裝置、不銹鋼背壓閥、BA級不銹鋼管內外拋光管、EP級不銹鋼內外拋光管、不銹鋼卡套式三通、不銹鋼卡套直通接頭、焊接三通、焊接變徑、氣體質量流量控制器、杜瓦瓶、氣瓶柜、通風柜、實驗臺等。

該公司產品分類：五金

S48 300/HMT北京流量計廠家，氣體流量計價格，質量流量計型號，氣體質量流量控制器

技術指標

4.1 S48 300/HMT MFC技術指標

表1 S48 300/HMT數字流量控制器技術指標

編號	項目	S48 300/HMT
1	流量規格	（10,20,30,50,100,200,300,500）mL/min （1,2,3,5,10,20,30,50）L/min
2	調節閥類型	電磁調節閥
3	調節閥靜止狀態	常閉
4	安裝角度	任意
5	流量控制范圍	2%-100%F.S.
6	流量測量范圍	0-100%F.S.
7	響應時間	≤ 1 sec
8	工作環境溫度	5-50℃
9	精度保證溫度	15-35℃
10	精度	±1.0% S.P.（≥30% F.S.）；±0.30% F.S.（＜30% F.S.）
11	線性精度	±0.5%F.S.
12	重復性	±0.2%F.S.
13	工作壓差	-5L/min （50-300）kPa（D） 10L/min-30L/min （100-300）kPa（D） 50L/min （150-300）kPa（D）
14	耐壓	3MPa（G）
15	泄漏率	＜1×10-8Pa·m3/s（He）
16	接觸氣體材料	316L，Viton® 氟橡膠，PTFE
17	管路接頭	Swagelok:Φ6mm,Φ10mm，Φ1/4″; VCR:1/4″, 3/8″
18	供電電源	±15V（±5%），＋15V,150mA；－15V,200mA
19	設定信號	數字：RS485/RS232 模擬：0 - +5V，輸入阻抗＞10kΩ
20	流量輸出信號	數字：RS485/RS232 模擬：0 - +5V，負載能力≤3mA
21	通訊接口	數字RS232/RS485，波特率4800/9600/19200bps， Modbus RTU 協議從機，設備號可選范圍0-15
22	重量（kg）	0.9

S48 300/HMT質量流量控制器的特點

　　　☆ S48 300/HMT型質量流量控制器是在引進HORIBA STEC技術基礎上，結合國內需要而研制的一種數字式質量流量控制器產品，采用當今先進的32位ARM系列處理器做數字控制。具有流量精度高、線性好、零漂小、氣流響應速度快、過沖小等特點。

　　　☆ RS232/485串口， Modbus（RTU）開放協議。協議簡單可靠，兼容性強，易于組網。配合上位機，可進行各種復雜的計量、控制操作及組態。

　　　☆耐壓高及適用于真空條件下工作。氣體流量不因溫度、壓力的變化而變化。氣阻較小，工作壓力范圍寬。

　　　☆主體采用不銹鋼（316L）結構，氣密材料采用PTFE、氟橡膠等。耐腐蝕性強。

　　　☆可任意角度安裝。

　　　☆兼容數字和模擬控制及顯示，使用方便。易于與電氣或自動控制系統配合。

配合MT-50或51系列流量顯示儀，可對氣流的瞬時流量進行精確測量和計量。

該公司產品分類：氣體流量計顯示儀電磁閥流量計/流量計控制器

DSN系列國產熱式氣體質量流量控制器

用途和特點

氣體質量流量控制器（Mass Flow Controller ）用于對氣體的質量流量進行精密測量和

控制。它在多個領域的科研和生產中有著重要而廣泛的應用。

東莞德欣于對產品性能和生產工藝的不斷改進，DSN質量流量控制器具有精度高、重

復性好、響應速度快、軟啟動、穩定、工作壓力范圍寬等（可以使用在高壓及真空系統）

特點。操作使用方便，可任意位置安裝，配合DSN2000流量顯示儀或其他流量控制器顯示儀

使用，也可直接同計算機實現RS-232 連接，非常方便的實現自動控制。它也可以作為氣體質

量流量計使用。配合DSN2000流量顯示儀對氣體的瞬時流量和累積流量進行精確測量和控制。

主要技術指標:

型號DSN

序號	項目	內容
		DSN—①	DSN—②
１	流量范圍	0～5，10，20，30，50，100，200，300，500 SCCM； 0～1，2，3，5，10 ,20,30SLM;
2	度（%FS）	±2%FS	±1%FS
3	線性(%FS)	±(0.5～2)%F.S	±(0.5～1)%FS
4	重復精度(%FS)	±0.2%FS
5	響應時間(sec)	電特性：＜10；氣特性：＜1～4
6	工作壓差范圍（MPa）	0.05～0.3
7	耐壓（MPa）	3，10
8	工作環境溫度（℃）	5～45
9	輸入輸出信號電壓	0～+5.00V
10	電源	+15V 500mA，－15V 500mA（輸入阻抗大于100K，輸出電流不大于3mA）
11	外形尺寸（mm）	130＊28＊121
12	重量約（kg）	1.0

Compact氣體質量流量控制器熱質式

應用范圍：分析儀器/表面涂裝處理/半導體制造熱處理/雷射焊接/燃燒室噴嘴/燃料電池/發酵槽/機械生產制造/氣體生產設備/氣壓縮設備/實驗室設備

技術指標：

顯示方式：4-Digital LCD 液晶顯示；長條圖形顯示

顯示單位：可測氣體,空氣,氧氣,氮氣,氦氣,氬氣,二氧化碳,甲烷,丙烷,麻醉性氣體笑氣,六氟化硫,丙烯,一氧化碳,丁烯…..等

度：+/-1% FS

滿刻度重設比例：1：50

反應時間：500ms 精度優于 99%

電源供應：鋰電池Type AA,電池壽命約2 年選配：外接VDC24V,+/-10%

操作壓力：10bar high on request

操作溫度：0 - 50℃

材質：鋁合金材質選配：不繡鋼拋光材質/Flow element PBT 工程塑料

軸封材質：Viton 選配：EPDM

IP 等級：IP50 / Panel mount IP65

符合德國EMC 安全規范：EN50081,EN50082

測量范圍：

Code	Range air	connection	Code	Range air	connection
A4	4-200ml/min	G1/4”	C4	0.4-20l/min	G1/4”
A5	10-500ml/min	G1/4”	C5	1-50l/min	G1/4”
B4	40-2000ml/min	G1/4”	D3	2-100l/min	G1/2”
B5	100-5000ml/min	G1/4”	D4	4-200l/min	G1/2”

MCALICAT氣體質量流量控制器

一、ALICAT氣體質量流量控制器測量原理圖

二、ALICAT氣體質量流量控制器產品特點

1、50毫內完成穩定的控制響應

準確、穩定的流量取決于控制響應速度，艾里卡特®質量流量控制器50毫內即可到達新的設定值。快速、可重復、穩定！

2、操作便捷

? 50-100毫控制響應

? 允許用戶自行調節PID以獲得良好的速度和穩定性

? 定制化閥門孔徑以滿量程流量的穩定性

? 同一臺設備控制質量流量、體積流量或絕對壓力

? 瞬間啟動、無需預熱：1內即可開始流量控制

三、ALICAT氣體質量流量控制器產品系列

MC 標準系列

全球控制響應快、穩定的流量控制器。

MCR 大流量系列

準確控制大流量(50-3000 slpm)氣體。艾里卡特®R系列閥門為全球無摩擦閥門，可精密控制大流量的氣體流量，特殊的孔狀模式允許我們根據您的應用需求量身定制閥門。

MCW / MCRW 低壓損系列

限度減小壓損對系統的影響，滿量程壓損低僅為4mbar(0.06 psid)；艾里卡特®Whisper低壓損系列質量流量控制器可控制接近大氣壓的壓力MCS / MCRS 耐腐蝕系列

所有量程均可采用適用于腐蝕性氣體的316L不銹鋼結構。點擊這里了解更多關于耐腐蝕系列

MCE / MCV 半導體行業用系列

可快速、簡易地替換老化陳舊的熱式流量控制器，可任意定制引腳功能使之與您的控制系統兼容，封閉式閥門設計更是符合半導體行業標準。MCV系列另增加了后置的氣動截至閥，門用于真空應用。可定制相應的防腐蝕系列MCES / MCVS。大量程：0-20 slpm. 點擊這里了解更多關于半導體行業用系列

MCD / MCRD 雙向質量流量&壓力控制器系列

雙向質量流量控制器，可正向或反向控制氣體流量。可定制低壓損系列MCDW系列及防蝕型MCDS系列。點擊這里了解更多關于雙向質量流量&壓力控制器系列

四、ALICAT氣體質量流量控制器性能參數

指標	質量流量控制器
量程	0.5SCCM，1SCCM，2SCCM，5SCCM，10SCCM，50SCCM，100SCCM....1500SLPM，2000SLPM，3000SLPM
精度	±0.8%讀數±0.2%滿量程（可選高精度：±0.4%讀數±0.2%滿量程）
重復性	±0.2%
量程比	200:1
響應時間	100ms
標準狀態(STP)	25℃&14.696PSIA （101.325kPa）
溫度范圍	-10～50
零點漂移	0.02％
量程漂移	0.02％
濕度范圍	0-100%
測量流量范圍	128％（過流率）
大耐壓	145psi
輸出信號（數字）	質量流量、體積流量、絕對壓力和溫度
數字信號可選	RS485，Modbus，Profibus
輸出信號（模擬）	質量流量、體積流量、絕對壓力和溫度
模擬信號可選	0-5VDC,1-5VDC,0-10VDC，4-20mA
電氣連接	8針/9針/15針（根據不同類型流量計而定）
供電電壓	7-30VDC（4-20mA輸出時為：15-30VDC）
供電電流	0.035A（4-20mA輸出時為：0.055A）

該公司產品分類：溫度儀表 ALICAT液體流量計渦輪流量計電磁流量計液體質量流量控制器液體質量流量計氣體質量流量控制器氣體質量流量計管閥件分析測試儀表壓力儀表流量儀表

MC型氣體質量流量控制器

一、產品概述：

該層狀流量控制器采用了一個比例閥，它與流量計部分相連。測量是在流量計的層狀區域進行的，并且一體化的PID控制器按照用戶的可編程設定點定位閥門。這些堅固的、閉環控制器可以接收0-5V的控制設置點信號，設置點信號或者來自一臺外部的設備，或者來自一臺可選的Alicat本地設定點模塊（LSPM）。

控制器還能接受RS-232，0-10Vdc，或4-20mA控制輸入信號，這取決于用戶的選擇愛好。與設定點電壓無關的是，控制器能配置為單路或雙路信號輸出，它們可以是同樣的或不同的電壓或參數，例如質量流量和溫度或流量和壓力。這是因為我們的質量流量控制器綜合了固態的差壓、絕壓和溫度傳感器來計算流量。因此，流量計不僅使用簡單而且響應快，同時具有固有的線性和能夠顯示和變送多個過程參數。有了RS-232數字連接，不僅所有的過程參數可以同時獲得而且還具有遠程設置點能力。

在并行連接中，最多26臺設備能被單獨尋址和控制。氣體量程從每分鐘0.5毫升滿量程到每分鐘1500+升滿量程。規格尺寸標注在設備背面，規格尺寸隨著工況的不同可能有所不同。（體積流量計不需要絕壓傳感器或離散溫度傳感器，因此會便宜些。他們常用于通風到大氣或小的背壓應用。）

二、流量控制器的性 1. 壓力，溫度，體積和質量流量的持續顯示（M系列） 2. 簡易的按鍵操作界面 3. 無熱線圈的熱漂移 4. 固有的線性 5. 通過CE認證 6. 可標注用戶商標 7. NIST Traceability 8. 設定點可通過動態數字顯示 9. RS232串行輸出標準

三、設計特點 1. 滿量程從0.5CCM到1500LPM+ 2. 響應時間100ms 3. 量程比優于100：1 4. 位置不敏感 5. 自動復位或在顯示屏上按復位鍵（Tare）復位 6. ±0.8%讀數±0.2%滿量程（高精度選項±0.4%讀數±0.2%滿量程） 7. 17種氣體選擇，無須重新校驗（須帶顯示） 8. 動態數字顯示 9. 本地控制能力

產品規格	MC	測量單位
量程范圍	0.5，1，2，5，10，20，50，100，200，500，800	(S)CCM
量程范圍	1，2，5，10，20，50，100，250，500，1000，1500	(S)LPM
精度等級	±0.8%讀數±0.2%滿量程（高精度選項±0.4%讀數±0.2%滿量程）	滿量程
重復性	±0.5%	滿量程
量程比	100：1
響應時間	100	毫秒
壓降	-	與廠家商議
操作溫度	-10～50	℃
零點漂移	0.02%/ATM	滿量程/℃
范圍漂移	0.02%/ATM	滿量程/℃
濕度量程	0-100%	無冷凝
過流率	2.4%	滿量程
最大耐壓	125	PSIG
供應電流	當流量≤20LPM時： 0.25 當流量≥50LPM時： 1	安培
電源電壓	當流量≤20LPM時：12-25VDC 當流量≥50LPM時：24-30VDC
輸入/輸出	0-5VDC，0-10VDC，4-20mA,RS-232	VDC
電氣連接	8針或可選的工業連接插頭	小型圓插頭 DIN
機械連接	1/8"接口：流量≤20(S)LPM 閥門側1/2"接口，流量計側1/4"接口：當流量為50(S)LPM和100(S)LPM時 1/2"接口：當流量為250～1000(S)LPM 1"接口：當流量＞1000(S)LPM	NPTF
接液部件	303和302不銹鋼，Viton®，RTV硅樹脂，玻璃纖維增強尼龍，陽極氧化鋁，410&304不銹鋼，鎳，銅，Delrin®，Loctite®粘劑326，401，609

產品尺寸：

流量范圍	高度	長度	深度	流量計接口	閥門接口
≤20（S）LPM	4.08"	3.5"	1.56"	1/8" NPT(F)	1/8" NPT(F)
20～50（S）LPM	4.600"	～5.7"	2.0"	1/4" NPT(F)	1/2" NPT(F)
50～100（S）LPM	4.727"	～6.6"	2.0"	1/4" NPT(F)	1/2" NPT(F)
100～1000（S）LPM	5.242"	～6.6"	2.0"	1/2" NPT(F)	1/2" NPT(F)

注意事項：特別低的流量裝置可能配有特殊接口以減少死區量。有時候，特殊的流量/壓力條件可能規定各種接口尺寸的組合。

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