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FZ-14區(qū)熔晶體生長系統(tǒng)

fz-14 區(qū)熔晶體生長系統(tǒng)是為工業(yè)生產(chǎn)直徑達100毫米（4英寸）的單晶硅晶體而設計。根據(jù)源棒的尺寸，可以拉出長度達1. 1米的晶體。在這個過程中，晶體的直徑和液體區(qū)的高度可以通過攝像系統(tǒng)來監(jiān)測。并且該系統(tǒng)的上部主軸和線圈都是自動定位的。該系統(tǒng)采用無接觸熔化工藝，通過使用渦輪分子泵和超純氬氣作為工藝氣體，產(chǎn)生高限真空環(huán)境，有效地防止了工藝過程中的污染，同時還能將氮氣以受控的方式引入工藝爐體。

更新時間:2025-03-05

該公司產(chǎn)品分類：深圳市矢量科學儀器有限公司

FZ-14M(G)區(qū)熔晶體生長系統(tǒng)

fz-14m(g)區(qū)熔晶體生長系統(tǒng)為制備單晶硅晶體樣品而設計開發(fā)，該系統(tǒng)用于工業(yè)多晶硅生產(chǎn)中的材料分析。生產(chǎn)過程中的小型多晶體樣品在氬氣環(huán)境中被感應熔化，并在籽晶上結(jié)晶，形成單晶，然后進行光譜分析，以檢測和記錄所生產(chǎn)的多晶硅質(zhì)量。該系統(tǒng)采用無接觸熔化工藝，通過使用渦輪分子泵和超純氬氣作為工藝氣體，產(chǎn)生高限真空環(huán)境，有效地防止了工藝過程中的污染。

更新時間:2025-03-05

該公司產(chǎn)品分類：深圳市矢量科學儀器有限公司

SR110區(qū)熔法硅芯爐

sr110區(qū)熔法硅芯爐的工作方式與區(qū)熔系統(tǒng)類似。該系統(tǒng)使用一個在高頻感應線圈下直徑為100毫米的多晶硅棒（源棒）。根據(jù)硅棒的長度，在多個拉動工藝中可以產(chǎn)生特定數(shù)量的硅芯；然后這些硅芯被用作西門子下游工藝中的原棒。通過隔離閥將接收爐體與工藝爐體分開，可以將完成的硅芯取出，并立即開始下一個工藝。通過引入擴散到熔體中的工藝氣體可以對細桿進行摻雜處理。

更新時間:2025-03-05

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SICma System物理氣相傳輸系統(tǒng)

sicma系統(tǒng)為通過物理氣相傳輸系統(tǒng)（pvt）的方式生產(chǎn)碳化硅晶體而開發(fā)。在此過程中，粉末狀的原材料在高溫下被加熱和升華，后沉積在特定準備的基片上。這項工藝將通過使用一個感應線圈在千赫茲范圍內(nèi)完成加熱。隨著全球工業(yè)域環(huán)保意識的提高，pva tepla也緊跟時代步伐，通過對該感應線圈進行優(yōu)化設計以實現(xiàn)低能源消耗。

更新時間:2025-03-05

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Kronos垂直梯度凝固法系統(tǒng)

kronos垂直梯度凝固法系統(tǒng)，用以解決基本工藝問題。該系統(tǒng)的高工作壓力意味著，即使其組分具有高蒸氣壓的材料也可以結(jié)晶。該系統(tǒng)可在10-40巴的壓力范圍內(nèi)用于不同化合物半導體的結(jié)晶。這種方法支持晶體的工業(yè)化生產(chǎn)，例如砷化鎵（gaas）的工業(yè)化生產(chǎn)可以通過在大10巴壓力的標準版設備實現(xiàn)，而磷化銦（inp）的生產(chǎn)可以在大40巴壓力的標準版設備中實現(xiàn)。

更新時間:2025-03-05

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