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系統由真空腔室（外延室、進樣室）、樣品傳遞機構、樣品架、旋轉靶臺、真空排氣、真空測量、電器控制、配氣、計算機控制等各部分組成。1、★★外延室：極限真空優于：5.0x10-8pa真空漏率小于2.0x10-8pa.l/s
更新時間:2025-05-07
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