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高溫壓力傳感器廣泛應(yīng)用于火箭發(fā)動機、航空發(fā)動機、重型燃氣輪機、燃煤燃氣鍋爐等動力設(shè)備燃燒室的壓力監(jiān)測。經(jīng)過二十多年的研究，高溫壓力傳感技術(shù)領(lǐng)域取得了豐碩的成果.在對敏感芯片主要材料分類的基礎(chǔ)上，討論了高溫壓力傳感器的研究現(xiàn)狀。重點分析了基于soi、sic、藍寶石、共燒陶瓷、壓電晶體、sicn陶瓷等材料的高溫壓力傳感器的特點和局限性，以及國內(nèi)外的發(fā)展現(xiàn)狀。